壓阻式SICK傳感器的結(jié)構(gòu)和效應(yīng)的資料有哪些？

壓阻式SICK傳感器的結(jié)構(gòu)和效應(yīng)的資料有哪些？

SICK傳感器用于壓力、拉力、壓力差和可以轉(zhuǎn)變?yōu)榱Φ淖兓钠渌锢砹浚ㄈ缫何弧⒓铀俣?、重量、?yīng)變、流量、真空度）的測量和控制當(dāng)力作用于硅晶體時，晶體的晶格產(chǎn)生變形,使載流子從一個能谷向另一個能谷散射,引起載流子的遷移率發(fā)生變化，擾動了載流子縱向和橫向的平均量，從而使硅的電阻率發(fā)生變化。這種變化隨晶體的取向不同而異，因此硅的壓阻效應(yīng)與晶體的取向有關(guān)。 

SICK傳感器硅的壓阻效應(yīng)不同于金屬應(yīng)變計（見電阻應(yīng)變計），前者電阻隨壓力的變化主要取決于電阻率的變化，后者電阻的變化則主要取決于幾何尺寸的變化（應(yīng)變），而且前者的靈敏度比后者大50～100倍。這種傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi)，引出電極引線。 

SICK傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器，它不同于粘貼式應(yīng)變計需通過彈性敏感元件間接感受外力，而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔，另一面是與大氣連通的壓腔。硅膜片一般設(shè)計成周邊固支的圓形，直徑與厚度比約為20～60。在圓形硅膜片(N型)定域擴散4條P雜質(zhì)電阻條,并接成全橋，其中兩條位于壓應(yīng)力區(qū)，另兩條處于拉應(yīng)力區(qū)，相對于膜片中心對稱。圖2中是兩種微型壓力傳感器的膜片，圖中數(shù)字的單位為毫米。此外，也有采用方形硅膜片和硅柱形敏感元件的。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴散制作電阻條，兩條受拉應(yīng)力的電阻條與另兩條受壓應(yīng)力的電阻條構(gòu)成全橋。  

SICK傳感器的種類繁多，其性能也有較大的差異，在實際生活中壓力傳感器應(yīng)用是廣泛的，根據(jù)具體的使用環(huán)境、條件和要求，選擇較為適用的經(jīng)濟、合理的壓力傳感器，可以起到事半功倍的效果。要了解不同領(lǐng)域壓力傳感器應(yīng)用的方向就必須先了解壓力傳感器的性能參數(shù)及其選擇原則。 

SICK傳感器(壓力傳感器原理)是傳感器中成熟傳感的技術(shù)，就市場銷售額看，居傳感器之首，且每年增長率達(dá)2%，具有廣闊的應(yīng)用前景.同技術(shù)性能的壓力傳感器應(yīng)用于不同不的測量需求己成為當(dāng)前壓力傳感器（壓力傳感器型號）發(fā)展和應(yīng)用的一個重要課題.隨著現(xiàn)代測量和自動化技術(shù)的發(fā)展，市場上的壓力傳感器品種繁多，格及技術(shù)性能不一，格差別規(guī)價也很大.在使用者面前的問題是，