美國派克PARKER高壓水平交叉膜片式閥應(yīng)用指南

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935A 和 935T 系列為1/2"接口，流量通過閥體連接直徑為2"的鋼管。這個設(shè)計可以使垂直單向閥進(jìn)入橫向氣體分流系統(tǒng)的集成得到了簡化

派克935A和935T系列不銹鋼閥體隔膜閥能夠提供優(yōu)抗漏能力和氣體容納能力，使它成為高流量高純應(yīng)用的選擇，

包括半導(dǎo)體加工設(shè)備。935A這種類型的閥體可以在一定角度定位手柄以便適應(yīng)狹窄的空間，而無需費力接觸手柄。935A和935T有一個位置指示器便于操作人員簡單判斷出閥門是否關(guān)閉。泄放口選項可以簡化吹掃操作流程。

半圓式膜片與閥體形成了金屬對金屬的密封，與膜片接觸的區(qū)域在保持應(yīng)力狀態(tài)下可以進(jìn)行更大的拉伸行程。

閥體為經(jīng)過電解拋光處理的Vericlean"316L不銹鋼材質(zhì)。Vericlean""是派克高純級不銹鋼材質(zhì)。

閥座可選擇PCTFE(聚三氟氯乙烯）或VespelR(聚酰亞胺樹脂）材質(zhì)。

935系列閥的內(nèi)部（閥座）密封及金屬外部密封均采用質(zhì)譜儀進(jìn)行氦氣泄漏實驗，以獲得其在高要求的高純應(yīng)用中有出色穩(wěn)定的表現(xiàn)。

束縛式膜片設(shè)計提供了閥桿正向拉伸的穩(wěn)定性，935系列閥體內(nèi)部無彈簧及螺紋。

·過程控制·半導(dǎo)體行業(yè)·分析實驗室·制藥業(yè)·生物制藥業(yè)·航空航天·工業(yè)

特點/YS:

·高流量壓應(yīng)用的選擇·10微英寸(Ra)標(biāo)準(zhǔn)表面光潔度·從真空至300 psig壓力適用·減少雜質(zhì)生成及氣體的卷入·外部金屬-金屬密封

·束縛式膜片減少了彈簧在液體中的使用，提高了安全性·開/關(guān)閥位置指示

·內(nèi)部泄漏率: ≤4x 10-9 scc/sec He·外部泄漏率: <2x10-10 scc/sec He

·閥座可選擇PCTFE(聚三氟氯乙烯）或Vespel(聚酰亞胺樹脂)材質(zhì)·兩個接口，多轉(zhuǎn)式手輪

應(yīng)用:

·腐蝕性及特殊氣體·氣體分配系統(tǒng)

·大型特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)(BSGS)

這樣減少了表面積及氣體卷入的可能，而這是管波紋閥門固有的缺陷，這一設(shè)計還可以進(jìn)行更簡便的吹掃及產(chǎn)生更少的雜質(zhì)。

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