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焊型，是以往體積的30%。
實現(xiàn)了行業(yè)首屈一指的小型化。壓力的變化而引起的調節(jié)、誤檢情形。
電子零組件孔檢查
離子化器的吹掃氣體確認
汽車等
各種泄露檢查
離子化器的流量管理
焊接氬、碳酸氣的流量管理
涂裝氣體的流量管理
吹掃氣體的流量管理接氣體的管理
吹掃氣體的流量管理與壓力感測器不相上下的高速應答（應答由管線的內容積、壓力等決定）
②由于是通過流量探測的，因此不存在因
吸附確認
與壓力感測器相比較（噴嘴直徑
?、劭梢蕴綔y出噴嘴或過濾器的孔口堵塞。
④通過流量探測，可以有效管理傾斜吸附等吸附錯誤。
機械制造通過采用了硅微細加工技術白金感測器小片，實現(xiàn)了高速應答。
有助于縮短間隔時間通過按鈕操作或者外部輸入，可以自動獲取開關輸出的設定值。
完全避免了繁瑣的設定過流量量程為500、1000 L/min這兩個類
有助于設備的小型化、輕量針利用壓力感測器時有時差壓過小而無法判別，此 處置的流量量程大。
內嵌速控器型（特別訂購品）可以
輕松對流量進行控制。
半導體為Ф0.3、真空壓力為-70k
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